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博魯斯潘在研發(fā)制造光刻機(jī)的核心技術(shù)和裝備領(lǐng)域取得突破

2021-05-26 16:00
來(lái)源: 粵訊

據(jù)中國(guó)機(jī)床行業(yè)報(bào)道,北京博魯斯潘精密機(jī)床有限公司與中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光機(jī)所國(guó)望光學(xué)楊懷江博士團(tuán)隊(duì)合作研發(fā)的光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)超精密磨床ULTR-700VG,于2021年5月18日通過(guò)國(guó)家機(jī)床質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢測(cè)中心檢測(cè)。該超精密機(jī)床工作臺(tái)直徑700mm,X軸行程:> 350mm、Z軸行程:>250mm、X軸定位精度:3μm/350mm(VDI 3441)、X軸重復(fù)定位精度:+/-1μm(VDI 3441)、X軸直線(xiàn)度:1μm/100mm,3μm/350mm、Z軸直線(xiàn)度:1μm/100mm,2μm/250mm、X軸與工作臺(tái)平行度:0.5μm/350mm、Z軸與工作臺(tái)垂直度:2μm/250mm、X,Z軸最小可執(zhí)行位移為0.1μm。磨削500mm直徑的合金鋼零件的平面度以及雙面平行度達(dá)到0.2微米;該超精密數(shù)控機(jī)床是高剛度的工程化實(shí)用產(chǎn)品,可以廣泛應(yīng)用于我國(guó)IC電路、光學(xué)工業(yè)、航空航天等精密超精密制造領(lǐng)域的批量化生產(chǎn);該技術(shù)和產(chǎn)品處于世界領(lǐng)先水平,屬于我國(guó)機(jī)床工業(yè)領(lǐng)域的首臺(tái)套;公司擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán);這些技術(shù)和裝備,是制造光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)、光刻機(jī)工作臺(tái)系統(tǒng)的關(guān)鍵;超精密納米光學(xué)零件首先要通過(guò)這類(lèi)超精密裝備的高效批量加工后,再通過(guò)等離子體局部拋光,才能達(dá)到納米級(jí)的面形精度和亞納米級(jí)表面粗糙度,否則就很困難。項(xiàng)目組負(fù)責(zé)人北京博魯斯潘精密吳行飛博士表示,優(yōu)化工作環(huán)境,避免干擾,下一步的目標(biāo)是直徑2000mm的超大型光學(xué)超精密技術(shù)與數(shù)控裝備的研發(fā),精度將突破0.02微米。

據(jù)筆者檢索,北京博魯斯潘精密是一家國(guó)資與民營(yíng)混合制國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),公司創(chuàng)始人吳行飛博士早年師從我國(guó)超精密機(jī)床和工藝研究泰斗、中科院院士徐性初先生,后在德國(guó)訪(fǎng)問(wèn)學(xué)習(xí),從事超精密共性基礎(chǔ)技術(shù)和工藝研究20多年。2006年回國(guó)后,創(chuàng)立了北京博魯斯潘精密,在中國(guó)寶安集團(tuán)、凱泰資本、湖南航空航天基金、杭實(shí)集團(tuán)、華盛一泓、紅馬資本的推動(dòng)下,公司先后獲得了數(shù)億元的資金支持,已經(jīng)陸續(xù)推出精密五軸聯(lián)動(dòng)光學(xué)數(shù)控加工中心、超精密光學(xué)數(shù)控車(chē)床。將超精密共性基礎(chǔ)技術(shù)與工藝降維使用在高端數(shù)控機(jī)床領(lǐng)域,又推出了十七軸雙主軸五面體五軸聯(lián)動(dòng)臥式加工中心、六軸五聯(lián)動(dòng)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪蝸扇、葉片精密銑削和葉榫精密磨削加工中心。該類(lèi)高精尖超精密數(shù)控機(jī)床對(duì)我國(guó)芯片、IC集成電路、光學(xué)、航空航天工業(yè)突破國(guó)外封鎖,實(shí)現(xiàn)高精尖技術(shù)與裝備的自主可控發(fā)展,具有重要的戰(zhàn)略意義和經(jīng)濟(jì)意義,是解決“卡脖子”問(wèn)題的關(guān)鍵裝備。公司以進(jìn)口替代為目標(biāo),已經(jīng)形成了商業(yè)化產(chǎn)品,在汽車(chē)零部件領(lǐng)域,已經(jīng)交付用戶(hù)六條自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn),是新中國(guó)成立以來(lái),唯一在世界龍頭企業(yè)批量化全廠(chǎng)替代進(jìn)口高端數(shù)控機(jī)床的公司。機(jī)器自2015以來(lái),實(shí)現(xiàn)了每天24小時(shí)不停機(jī)生產(chǎn),完成了穩(wěn)態(tài)和可靠性的長(zhǎng)期驗(yàn)證;2019年10月,中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合、中國(guó)機(jī)床工具協(xié)會(huì)組織了國(guó)家級(jí)鑒定,與會(huì)專(zhuān)家認(rèn)為,這一突破,對(duì)我國(guó)高端數(shù)控裝備的技術(shù)進(jìn)步,具有重要的推動(dòng)作用。吳行飛博士個(gè)人、團(tuán)隊(duì)各項(xiàng)成果先后獲得中國(guó)機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)一次、二等獎(jiǎng)兩次。

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光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)零件超精密數(shù)控磨床 ULTRA 7600VG


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