LED陣列的設(shè)計(jì)和制作工藝研究
[摘要] 根據(jù)AlGaInP外延片的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)設(shè)計(jì)了LED型微顯示器件的主要結(jié)構(gòu)。利用Markus2Christian Amann等人提出的模型對(duì)器件電流注入后的空間分布進(jìn)行了簡(jiǎn)單的理論分析,總結(jié)出了像素元和上隔離溝槽的理想尺寸分別是16μm ×16μm 和2μm。簡(jiǎn)述了減薄GaAs 襯底的作用,設(shè)計(jì)襯底電隔離溝槽寬度為5μm。
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上網(wǎng)時(shí)間:2009-07-29